DGIST, 반도체 열 관측 장비 국산화 성공

대구경북과학기술원(이하 DGIST) 반도체AX연구단 이현준 책임연구원이 반도체 미세 발열을 실시간으로 관측할 수 있는 열반사 분석 장비를 상용화한 공로로 과학기술정보통신부 장관 표창을 수상했다.이번 수상은 국내 최대 ICT 전시회인 ‘월드 IT 쇼(World IT Show, WIS) 2026’에서 기술사업화 성과를 인정받아 이뤄졌다.이 책임연구원은 나노스코프시스템즈㈜와 공동으로 반도체 미세 구조에서 발생하는 열을 정밀하게 관측하는 기술을 개발하고 이를 실제 장비로 구현해 상용화에 성공했다.최근 반도체는 고속화와 고집적화가 진행되면서 발열 문제가 핵심 과제로 떠오르고 있지만, 기존 적외선(IR) 카메라는 마이크로미터(㎛) 이하 미세 영역의 열을 정밀하게 측정하는 데 한계가 있었다.연구팀은 이를 해결하기 위해 가시광선 반사율 변화를 이용해 온도를 측정하는 ‘열반사’ 기반 기술을 도입했다. 한국기초과학지원연구원(KBSI)의 기술이전을 토대로 약 10년간 산학 협력을 이어오며 기술 완성도를 높였다.그 결과 고해상도 열 영상을 실시간으로 관측할 수 있는 장비를 국산화하는 데 성공했다. 해당 장비는 미국에 이어 세계 두 번째, 국내에서는 유일하게 제품화된 사례로 평가된다.이 책임연구원은 “반도체 내부 미세 발열 위치와 열 전파 과정을 직접 시각적으로 확인할 수 있는 기술을 확보했다”며 “차세대 첨단 소자 연구에도 폭넓게 활용 가능한 분석 도구가 될 것”이라고 밝혔다.DGIST 연구팀은 현재 해당 기술에 인공지능(AI)을 접목하는 후속 연구를 진행 중이다. 미세 열 신호를 정밀하게 분석·시각화해 반도체 신뢰성 평가, 고장 예측, 공정 최적화 등 다양한 산업 분야로 활용을 확대할 계획이다.